фототравление на китайском сущ. маш. 成形腐蚀法 ; 照相腐蚀法 др. общ. 光蚀刻 guāngshíkè ; 光刻 guāngkè сущ. физ. 光腐蚀 guāng fǔshí ; 光刻 guāngkè сущ. электротех. 光刻蚀