ионное травление на китайском сущ. маш. 离子束刻蚀 ; 离子刻蚀 сущ. физ. 离子浸蚀法 lízǐ jìn shí fǎ ; 离子蚀刻法 lízǐ shí kē fǎ сущ. электротех. 离子蚀刻